Calcium Fluoride
CaF₂
특성
매우 넓은 투과 영역: UV → IR (~0.13 ~ 10µm)
굴절률 낮음 (n ≈ 1.43)
열안정성 양호, 낮은 흡수율
레이저 손상 임계치 높음
용도
EUV 노광용 렌즈 소재로 매우 중요
삼성, ASML, Zeiss 등에서 사용하는 핵심 소재
제품특징
주요 사용 분야
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반도체 광학(극자외선)
EUV lithography optics, 렌즈, 윈도우
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레이저 광학
레이저 창(Window), Beam expander optics
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적외선 광학
열영상(IR) 창/렌즈, FTIR 광학부품
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우주/항공
저온광학 (cryogenic optics)
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분광기/광학장비
프리즘, 렌즈, 광창, 스캐닝 창